Travel Range
20 mm
Resolúsje
0.125μm
Repeatabiliteit
＜1 μm
Straightness
＜2 μm
Parallelisme
＜5 μm
Pitching
10"(50 μrad）
Yawing
Maksimumsnelheid
5 mm/sek
Laadfermogen
10 kg
Gewicht
1,5kg
