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Travel Range | 20 mm | Resolúsje | 0.125μm | Repeatabiliteit | <1 μm | Straightness | <2 μm | Parallelisme | <5 μm | Pitching | 10"(50 μrad) | Yawing | 10"(50 μrad) | Maksimumsnelheid | 5 mm/sek | Laadfermogen | 10 kg | Gewicht | 1,5kg |
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Foarige: Mini Stage: WN260TA30H Folgjende: Mini Stage: WN261TA(15-75)H